18:30 〜 18:45 [18p-E202-19] パルススパッタ堆積法による高Al組成AlGaN薄膜成長 〇櫻井 悠也1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL)