14:45 〜 15:00 △ [19p-F104-6] 光熱効果によるサブミクロン球状粒子の到達温度評価とセラミック基板の微細加工 〇(M2)小嶋 雅之1、越崎 直人1、石川 善恵2 (1.北大院工、2.産総研)