10:30 〜 10:45 [19a-B303-6] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評価 〇(M1)山川 愉生1,2、唐澤 嶺1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)
10:45 〜 11:00 △ [19a-B303-7] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価 〇(M1)山川 愉生1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)