09:30 〜 09:45 [20a-D103-3] マルチエピタキシャル型SiC SJ ダイオードの電気特性のプロセス依存性 〇(M2)原田 穣1、森本 忠雄2、原田 信介2、岩室 憲幸1 (1.筑波大、2.産総研)