13:45 〜 14:00 △ [18p-B201-2] III-V/Siハイブリッド部分直接接合における非破壊接合状況確認法の提案 〇白 柳1、菊地 健彦1,3、鈴木 純一1、永坂 久美1、西山 伸彦1,2、八木 英樹3、雨宮 智宏1,2、荒井 滋久1,2 (1.東工大工、2.未来研、3.住電)