09:30 〜 09:45 [19a-B203-3] ハイブリッド集積に向けたAr-FAB表面活性化接合法のInP/Si接合特性の検討 〇永坂 久美1、鈴木 純一1、御手洗 拓矢1、王 雨寧1、雨宮 智宏1,2、西山 伸彦1,2、荒井 滋久1,2 (1.東工大工、2.未来研)