14:30 〜 14:45 [19p-B303-6] 原子層堆積法で成膜したNbN/AlN/NbN多層膜の結晶性評価 〇浮辺 雅宏1、藤井 剛1、志岐 成友1、大久保 雅隆1 (1.産業技術総合研究所)