14:15 〜 14:30 [17p-E202-5] 原子的に平坦なステップテラス構造を有するAlNホモエピタキシャル成長 〇正直 花奈子1、河合 祥也1、林 侑介2、三宅 秀人1,2 (1.三重大院工、2.三重大地域イノベ)