16:30 〜 16:45 △ [18p-C104-8] 90µmScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ 〇正宗 千明1、佐野 耕平1、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大先進理工、2.JST さきがけ、3.材研)