15:00 〜 15:15 △ [18p-E201-6] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (1) 〇(B)粕谷 拓生1,2、嶋 紘平1、菊地 清1、小島 一信1,2、秩父 重英1,2 (1.東北大多元研、2.東北大工)