11:00 〜 11:15 [20a-C103-8] スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価 〇小林 進大1、武田 さくら1、米田 允俊1、大門 寛1、若林 整2 (1.奈良先端大、2.東工大)