[17a-F102-1~12] 9.4 熱電変換

[17a-F102-12] ナノ加工を用いたBiワイヤーのゼーベック係数および抵抗率の測定

〇森田 寛之¹、有坂 太一²、大塚 美緒子²、長谷川 靖洋² (1.埼玉産技総セ、2.埼玉大院)

キーワード：ビスマスワイヤー、ナノ加工

集束イオンビームを用いて切削および局所成膜といったナノ加工を行うことにより、Biナノワイヤーのゼーベック係数および抵抗率の測定できる電気接合技術を開発した。本開発技術を検証するため、バルク特性を有するマイクロサイズのワイヤー直径1.41μm、長さ2,469μmのBiワイヤーを用いて、ゼーベック係数および抵抗率の測定を行った。