[17p-B201-1~7] pMAIRS法：非平滑・非晶質薄膜の分子配向を明らかにできる新手法

[17p-B201-2] 温度可変pMAIRS法を用いたポリイミド膜の分子鎖配向挙動の解析

〇安藤 慎治¹、田中 和幸¹、石毛 亮平¹ (1.東工大物質)

キーワード：温度可変pMAIRS法、ポリイミド、分子配向挙動

高分子薄膜において幅広い温度範囲で誘起される分子配向状態の“その場分析”を可能にする「温度可変p偏光多角入射分光法」（VT-pMAIRS）を開発した。この方法を用いて、Si基板上に形成された種々の芳香族ポリイミド薄膜（<300nm）の熱硬化（熱イミド化）中の分子鎖配向変化を解析した。これらポリイミド薄膜における配向機構は、溶媒の蒸発および熱イミド化時の残留溶媒が少なく，かつ膜収縮も小さいため、対応するPI厚膜の配向機構とは著しく異なることを明らかにした。