[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[17p-C204-14] ECRイオン源におけるフラーレンイオンビームの高純度化

〇大西 広司¹、津田 悠登¹、渡辺 拓人¹、竹田 樹人¹、濱田 滉太¹、内田 貴司²、村松 正幸³、北川 敦志³、吉田 善一²、加藤 裕史¹ (1.阪大院工、2.東洋大、3.量研機構放医研)

キーワード：プラズマ、フラーレン、イオンビーム