[17p-E202-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [17p-E202-4] GaN系長波長面発光レーザへ向けたAlInN/GaN多層膜反射鏡

〇(B)平岩 恵¹、荻本 純一郎¹、赤塚 泰斗¹、村永 亘¹、赤木 孝信¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大理工、2.名古屋大赤﨑記念研究センター)

キーワード：面発光レーザ、多層膜反射鏡、AlInN/GaN

本研究では、AlInN/GaN DBRを有するGaN系長波長VCSELの実現を目指し、長波長域（～570nm）にストップバンドを有する40ペアAlInN/GaN DBRを作製した。570nm帯でも反射率99.0%を実現した。