[17p-P10-1~93] 10 スピントロニクス・マグネティクス（ポスター）

[17p-P10-38] Mn₃Sn多結晶薄膜の異常ホール効果

〇呉 承俊¹、森田 正¹、池田 智紀²、大兼 幹彦²、角田 匡清²、安藤 康夫² (1.アルバック未来研、2.東北大)

キーワード：反強磁性、異常ホール効果

本研究では、スパッタリング法によるMn₃Sn薄膜の作製とその物性評価を行った。成膜には合金ターゲットを用い、室温下で熱酸化膜付Si基板上に100 nm厚のMn₃Sn薄膜を作製した。酸化防止キャップ層として10 nm厚のRu膜を挿入した。作製されたサンプルは真空中で後熱処理を30分間行い、組成、結晶性、ならびに磁気特性の評価を行った。後熱処理によりMn₃SnとRu膜の結晶化が進み、明瞭なヒステリシスを有する異常ホール曲線が観測された。