[17p-P12-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[17p-P12-5] 超臨界水酸化処理による窒化ガリウム表面の変化

〇多田 雄貴¹ (1.奈良先端大)

キーワード：窒化ガリウム、超臨界水