[17p-P12-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [17p-P12-7] 高圧水蒸気処理によるSiO₂膜の物性および電気的特性変化

〇安藤 領汰¹、上沼 睦典¹、藤本 裕太¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：高圧水蒸気処理、窒化ガリウム