[17p-P6-1~34] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[17p-P6-21] 有機/無機多層膜を用いた焦電型赤外線センサの素子構造とセンサ特性の相関検討

〇永吉 竜治¹、福島 達也¹、小柴 康子¹、森本 勝大^1,2、石田 謙司¹ (1.神戸大院工、2.富山大院理工)

キーワード：焦電型赤外線センサ、多層膜構造