[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17p-P7-14] マルチバイオマーカー検出に向けたファブリペロー干渉型表面応力センサアレイの検討

〇(PC)丸山 智史¹、飛沢 健¹、有見 芳敬¹、木村 安行¹、高橋 一浩^1,2、澤田 和明¹ (1.豊橋技大、2.JST さきがけ)

キーワード：ファブリペロー干渉計、微小電気機械システム

本研究のセンサは、センサ部であるフォトダイオード上にパリレンC可動膜構造体があり、分子吸着により可動膜の歪むことで透過率変化が生じ、その変化を電圧出力値として得られ、イメージセンサ技術を用いることで、センサのアレイ化が可能である。そこで、液中での分子吸着による表面応力変化をリアルタイムにセンシングする表面応力センサの特徴に着目し、マルチ検出可能な光学検出型バイオセンサアレイの作製を目的とする。