[18a-B201-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[18a-B201-4] 加熱制御型Siフォトニック結晶導波路スローライト偏向器 (II)——応答速度

〇竹内 梧朗¹、寺田 陽祐¹、阿部 紘士¹、伊藤 寛之¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：LiDAR、偏向器