[18a-D101-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-D101-10] キャリア選択コンタクトにおける電極材料の界面仕事関数および成膜ダメージ評価：ALD-TiO_x

〇(PC)神岡 武文¹、望月 健矢²、後藤 和泰²、林 豊¹、磯貝 勇樹¹、中村 京太郎³、宇佐美 徳隆²、大下 祥雄¹ (1.豊田工大、2.名大院工、3.明治大)

キーワード：チタン酸化物、仕事関数、C-V解析