[18a-D103-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-D103-7] ヴォロンコフモデルへのコメント(4)自由エネルギーの評価

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：ヴォロンコフモデル、対消滅、点欠陥

ヴォロンコフはシリコン結晶中の残留点欠陥を過飽和の空孔および格子間原子の対消滅で説明した。中村はヴォロンコフモデルの数値解析を行い、残留点欠陥の密度を求めた。我々はその解を用いて残留点欠陥による自由エネルギーを求め、それが対消滅によって減少しないことを見出した。これは、彼らが使っている対消滅反応が正しくないことを示している。