PDF ダウンロード スケジュール 34 いいね! 1 コメント (0) 10:45 〜 11:00 [18a-E202-7] HVPE法による(000<span style="text-decoration:overline;">1</span>)面GaN基板上へのGaN厚膜成長 〇加納 聖也1、谷川 智之2、向井 孝志1、松岡 隆志2 (1.日亜化学、2.東北大金研) キーワード:HVPE、GaN