[18a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E202-8] HVPE法によるAlGaNの薄膜成長

〇田中 大暉^1,2、永松 謙太郎³、山田 永²、山田 寿一²、熊谷 義直^4,3、新田 州吾³、本田 善央³、清水 三聡²、天野 浩^3,5,6 (1.名大院工、2.産総研GaN-OIL、3.名大未来材料研、4.東京農工大院工、5.名大赤崎記念研、6.名大VBL)

キーワード：HVPE、AlGaN、薄膜成長