[18a-G203-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[18a-G203-1] [講演奨励賞受賞記念講演] チャージポンピングEDMR法によるシリコンMOS界面の欠陥検出

〇堀 匡寛¹、土屋 敏章¹、小野 行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：界面欠陥、シリコンMOSFET、チャージポンピング