[18p-B203-1~17] 3.13 半導体光デバイス

[18p-B203-6] TE光を用いたサブ波長格子型光変調器の設計と試作

〇小杉 優地¹、岡本 有貴¹、山田 千由美²、肥後 昭男¹、山田 俊樹²、大友 明²、三田 吉郎¹、中野 義昭¹、種村 拓夫^1,3 (1.東京大学、2.情報通信研究機構、3.科学技術振興機構さきがけ)

キーワード：光変調器、サブ波長格子、電気光学ポリマー

光イメージングや光無線通信への応用に向けて，高速な垂直入射型光変調器が求められている．著者らは，シリコン（Si）のサブ波長格子に電気光学（EO: electro-optic）ポリマーを埋め込むことで，共振を利用して効率的に光の強度や位相を変調する素子を提案し，研究を進めている．今回，TE（transverse-electric）偏光の入射光を用いることで，Si格子の厚さを大幅に薄くできることを見出し，実際に試作した素子を用いて共振を観測したので報告する．