[18p-C104-1~9] 圧電薄膜の基礎技術と応用デバイス

△ [18p-C104-8] 90µmScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ

〇正宗 千明¹、佐野 耕平¹、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.JST さきがけ、3.材研)

キーワード：ScAlN圧電膜、超音波トランスデューサ、超音波顕微鏡