[18p-C104-1~9] 圧電薄膜の基礎技術と応用デバイス

[18p-C104-9] ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性

〇(M1)清水 貴博^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：トランスデューサ