[18p-C201-1~7] イオンビームと表面分析：二次イオン質量分析法（SIMS）の最近の進歩と有機分析への応用

[18p-C201-7] 二次イオン質量分析法 (SIMS) の国際標準化の動向

〇高野 明雄¹ (1.トヤマ)

キーワード：二次イオン質量分析法、ISO、標準化

SIMSの国際標準化は、ISO TC 201 SC6で行われている。本講演では、標準化の動向として、近々開発が完了する ISO/FDIS 20411（ダイナミックSIMSの飽和強度補正法）を中心に、他3つの開発中の規格案を概説する。