[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-10] HASモデルによる不純物ドープシリコンウェーハの強度解析

〇高田 康佑¹、藤瀬 淳¹、高 奉均¹、小野 敏昭¹ (1.SUMCO)

キーワード：シリコンウェーハ、強度、シミュレーション

ボロンまたは赤燐を高濃度に添加したウェーハに三点曲げ試験を行い，上降伏点の違いについて調査した．ボロン添加では上降伏点の違いはわずかであったが，赤燐添加では大きく低下した．この現象をHASモデルを用いたシミュレーションによって解析し，上降伏点が変化するメカニズムについて考察した．