超高温 RTP ウェーハにおける酸素析出モデルの検討

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15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2018年3月18日(日) 13:15 〜 19:30 D103 (56-103)

14:45 〜 15:00

〇前田進¹、須藤治生¹、岡村秀幸¹、中村浩三³、末岡浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン(株) 技術部基盤技術グループ、2.岡山県立大学情報工学部情報通信工学科、3.岡山県立大学地域共同研究機構)

キーワード：シリコン、急速昇降温熱処理、酸素析出