[18p-E202-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E202-6] 酸性アモノサーマル法による大型GaN 結晶成長の検討

〇斉藤 真^1,2、包 全喜^1,3、栗本 浩平^1,3、冨田 大輔¹、嶋 紘平¹、小島 一信¹、石黒 徹¹、秩父 重英¹ (1.東北大学　多元研、2.三菱ケミカル、3.日本製鋼所)

キーワード：アモノサーマル、バルク、窒化ガリウム