[18p-F306-1~17] 12.7 医用工学・バイオチップ

[18p-F306-14] タングステン上のTa₂O₅薄膜のpH応答と界面生成物についての検討

〇山内 友輔¹、飛沢 健¹、岩田 達哉^1,2、村上 健介¹、高橋 一浩^1,2、澤田 和明^1,2 (1.豊橋技科大、2.エレクトロニクス先端融合研究所)

キーワード：pHイメージセンサ、五酸化タンタル

pHイメージセンサのバイオ応用のため、画素の微細化が求められている。我々は、拡張ゲート構造の提案による標準CMOSプロセスでの実現を目指している。拡張ゲート構造ではゲートSiO₂と比較して、表面の平滑性、Ta₂O₅/W界面における遷移層の形成などが懸念されるW電極上へ形成が必要である。本報告は、W電極上へTa₂O₅を形成し、EIS構造容量測定法によるpH応答及びXPSによる界面近傍における元素分布について評価を行ったので報告する。