[18p-P13-1~13] 13.9 化合物太陽電池

[18p-P13-7] 硫化/熱処理したSn-S薄膜中のSのふるまい

〇任介 太一¹、三田 智也¹、浅香 圭佑¹、杉山 睦¹ (1.東理大　理工/総研)

キーワード：硫化スズ、太陽電池、硫化法

近年、化学堆積・蒸着・ALD法等でSnSを製膜後、SやH₂Sを用いた硫化やN₂熱処理を行う報告例が増えており、高効率SnS太陽電池実現のための、成膜後プロセスとして定着しつつある。今回我々は、Sn-S薄膜をさまざまな条件で硫化することによる影響として、Sの拡散やグレインの大きさなどを調査した。