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[18p-P15-3] Short Leg Effect of Silicon Nanowire Micro Thermoelectric Generator
Keywords:energy harvesting, Thermoelectric Generator, Silicon Nanowire
当グループでは、新しいSi-NW-μTEG(Micro Thermoelectric Generator)構造を提案し、10~100 nmの範囲において、Si-NWを短くすることで発電量が増加するという結果を得た。今回、Si-NWをさらにサブミクロンオーダーにまで短くすることで、発電パワーが大幅に増大することを確認した。