[18p-P15-1~11] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[18p-P15-5] 多結晶シリコン薄膜フォノニックナノ構造における熱伝導率のアニール時間依存性

〇柳澤 亮人¹、辻井 直人²、Paul Oliver³、森 孝雄²、野村 政宏^1,4,5 (1.東大生研、2.物材機構、3.フライブルク大 IMTEK、4.東大ナノ量子機構、5.JST さきがけ)

キーワード：シリコン、熱電変換、フォノニック結晶

熱電変換材料への応用に向けて、多結晶シリコン薄膜にイオン注入を行い、サーモリフレクタンス法を用いて熱伝導率のアニール時間依存性を測定した。アニール時間の短い試料がより低い熱伝導率を示し、結晶粒径の変化などが考えられる。さらに熱電性能の向上のため、試料にフォノニック結晶ナノ構造を作製し、粒径制御と合わせて従来の薄膜より５分の１程度低い熱伝導率を実現した。