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[18p-P5-2] カーボンナノチューブを利用したSICMプローブの作成
キーワード:SICM、ナノポアセンサー、カーボンナノチューブ
SICM(Scaning Ion Conductance Microscope)は先端に数十ナノメートルのポアが開いたガラスキャピラリーを表面検出プローブとして利用し、表面とプローブ先端との距離よって変化するイオン電流を検出することで、表面形状や表面電荷を可視化することができる。しかしながら、現在SICMの分解能は数十ナノメートルと低い。今回分解能を向上させるために作成したカーボンナノチューブプローブの電気伝導特性等に関して報告する。