[18p-P5-1~22] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[18p-P5-7] Al₂O₃成膜マイクロポアを用いた単一粒子検出

〇林田 朋樹¹、大城 敬人¹、筒井 真楠¹、谷口 正輝¹ (1.阪大産研)

キーワード：マイクロポア、原子層堆積法

固体マイクロポアデバイスの表面に原子層堆積法(ALD)を用いてAl₂O₃膜を1 nm~6 nmの範囲で成膜したデバイスを作製した。このデバイスを用いて、単粒子がポアを通過する際のイオン電流変化を計測し、各膜厚におけるシグナルの大きさ及び検出頻度の変化について検証した。φ0.78 μmカルボキシ基修飾ポリスチレン粒子を用いた場合、膜厚に応じてシグナルの大きさは変化した。