[18p-P6-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[18p-P6-15] ラザフォード後方散乱法及び弾性反跳法によるGaN単結晶の格子変位と残留水素の評価

〇佐藤 一樹¹、串田 一雅²、西村 智朗¹、栗山 一男¹、中村 徹¹ (1.法大、2.大教大)

キーワード：窒化ガリウム