[19a-B303-1~10] 1.6 超音波

[19a-B303-5] USBパルサーを用いた可搬型ボールSAW水分計の開発

〇赤尾 慎吾¹、岡野 達広¹、竹田 宣生¹、辻 俊宏¹、大泉 透¹、福士 秀幸¹、佐藤 渚¹、塚原 祐輔¹、山中 一司¹ (1.ボールウェーブ)

キーワード：弾性表面波、水分計、球状表面波センサ

リチウムイオンバッテリや有機ELの材料は、水分子と反応しやすいため製造工程では微量水分の管理が必要となる。とりわけロードロック室では外気の混入が生じるため高速な応答が求められる。本発表では、露点-70℃までを測定でき、高速かつ低価格に提供可能なUSBパルサーを用いた可搬なボールSAW水分計を開発し、模擬ドライボックスの開閉による水分変化を観測し現場適応性を実証した。