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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[19a-C104-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

2018年3月19日(月) 09:00 〜 12:15 C104 (52-104)

藤沢浩訓(兵庫県立大)、清水荘雄(東工大)

11:15 〜 11:30

[19a-C104-9] MLCC微細化検討用BaTiO₃薄膜ダイオードの作製とリーク電導特性の評価

〇(B)内田武哲¹、前島壮¹、山下馨¹、野田実¹ (1.京工繊工芸)

キーワード：BaTiO3、MLCC、SrRuO3