[19a-D103-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19a-D103-3] Si-40mol%Cr溶媒の融体物性計測ならびにSiCの溶液成長下熱流動予測

〇(D)大黒 寛典¹、川西 咲子²、石川 毅彦³、吉川 健¹ (1.東大　生研、2.東北大　多元研、3.JAXA)

キーワード：SiC、溶液成長

溶液成長法によるSiC単結晶成長の大口径化と高速成長を図るうえで、熱流体シミュレーションを用いた溶液内の温度・流動の厳密制御が必須である。これまで合金溶液には溶融Siの物性値が用られてきた。本研究では、静電浮遊法を用いてSi-40mol%Cr合金の密度、粘性係数、表面張力を測定した。さらに、溶融SiとSi-40mol%Cr合金の物性値を用いて、溶液成長環境における溶液内の温度・流速分布をCFDシミュレーションにより予測し、比較検討を行った。