[19a-E201-1~7] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-E201-1] ZnO系透明導電膜の特性とPLスペクトルの対応 II

〇赤沢 方省¹ (1.NTT DIC)

キーワード：ZnO、フォトルミネッセンス、ドナー

ZnO結晶のドナーが何であるかに対して、実験的なアプローチを試みている。前回に引き続き、ZnO膜のプロセス条件を変えることで生じる抵抗率の変化とPLスペクトルに出現する欠陥発光の相関を捉えることで、ドナーの正体に迫る結果を報告する。具体的には、成膜温度の効果とプラズマ照射の効果により、亜鉛空孔と酸素空孔の発光を特定し、導電姓との関連を論じる。