[19a-E201-1~7] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-E201-2] 縮退した多結晶AZO透明導電膜の電気伝導機構
：不規則粒界からのキャリア散乱

〇宮田 俊弘¹、徳永 浩己¹、南 内詞¹ (1.金沢工大)

キーワード：透明導電膜、AZO