[19a-F206-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [19a-F206-9] NVセンターを用いたパワーデバイスの量子イメージング計測

〇金 光秀¹、岩崎 孝之¹、水野 皓介¹、牧野 俊晴²、加藤 宙光²、小倉 政彦²、竹内 大輔²、山崎 聡²、波多野 睦子¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、NVセンター、パワーデバイス