[19a-P3-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[19a-P3-10] 積層閉リング共振器アレイのテラヘルツ時間領域分光解析

上田 誠一郎¹、渡邉 裕貴²、〇松井 龍之介^2,3 (1.三重大工、2.三重大院工、3.三重大極限ナノエレ)

キーワード：テラヘルツ、メタマテリアル、閉リング共振器

メタマテリアルやメタデバイスに基づくテラヘルツ光学素子の開発に関する研究が活発になされている。より制御性の高い素子の開発を目的として本研究室ではこれまで積層閉リング共振器（CRR）アレイによる共鳴周波数変調の数値シミュレーションについて報告してきた。今回我々は、積層CRRアレイのフォトリソグラフィーによる作製とテラヘルツ時間領域分光法による解析について報告する。