[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

[19a-P6-31] 石英基板上へのグラフェンの低温合成

〇中野 美尚¹、福田 義朗¹、浮島 禎之¹、塚原 尚希¹ (1.アルバック未来研)

キーワード：グラフェン、低温合成

我々は、LED作製に必要なGaNの低温結晶成長に利用するため、非晶質基板上への低温グラフェン合成を行っている。石英基板上に触媒を成膜し、550℃で熱CVDを行うことでグラフェンの合成ができることを確認した。低温合成されたグラフェンにはラマンスペクトルでDバンドが観察され、欠陥が存在するが、成長ガスの違いにより欠陥の量が異なることが分かった。