[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

[19a-P6-35] エピタキシャル炭化アルミニウム薄膜の成長及びその熱分解によるグラフェン形成

〇(D)松田 敬太¹、福井 舞¹、乗松 航¹、楠 美智子² (1.名大院工、2.名大未来)

キーワード：グラフェン、熱分解、炭化物

グラフェンの電子物性変調手法の一つとして、異元素ドーピングがある。これまでに、我々の研究室ではB₄Cの熱分解によってホウ素ドープグラフェンが成長することを報告しており、様々な炭化物の熱分解によって多様なドープグラフェンの形成が可能であると期待している。そこで本研究では、SiC基板上にエピタキシャル炭化アルミニウム（epi-Al₄C₃）薄膜を成長させ、その熱分解によって作製したグラフェンの構造や特性について報告する。