[19p-B303-1~18] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-B303-4] マイクロ波多重読出し回路の共振器Q値と作製プロセス

〇山森 弘毅¹、入松川 知也^2,1、中島 裕貴^1,3,2、平山 文紀¹、佐藤 昭¹、神代 暁¹、永沢 秀一¹、日高 睦夫¹、藤井 剛¹、大野 雅史² (1.産総研、2.東大、3.ISAS/JAXA)

キーワード：超伝導転移センサ、マイクロ波多重読出し、Q値

我々はマイクロ波読出し回路によるTES信号周波数多重化回路の開発を行っている。ところが、共振器だけ作製したチップでは高いQ値が得られたが、SQUID回路を集積したフルプロセスではQ値が大きく劣化した。作製プロセスを見直したところ、共振器のエッジに抵抗用のPdが残っておりこれがQ値を減少させていると推測された。そこでPdが残らないような作製プロセスを導入してQ値の改善を行った。